1802年烏拉斯登（W.H.Wollaston）發(fā)現(xiàn)太陽連續(xù)光譜中存在許多暗線。
1814年夫勞霍弗（J.Fraunhofer）再次觀察到這些暗線，但無法解釋，將這些暗線稱為夫勞霍弗暗線。
1820年布魯斯特（D.Brewster）*個(gè)解釋了這些暗線是由太陽外圍大氣圈對(duì)太陽光吸收而產(chǎn)生。
1860年克希霍夫（G.Kirchoff）和本生（R.Bunsen）根據(jù)鈉（Na）發(fā)射線和夫勞霍弗暗線的光譜中的位置相同這一事實(shí)，證明太陽連續(xù)光譜中的暗線D線，是太陽外圍大氣圈中的Na原子對(duì)太陽光譜在Na輻射吸收的結(jié)果；并進(jìn)一步闡明了吸收與發(fā)射的關(guān)系——氣態(tài)的原子能發(fā)射某些特征譜線，也能吸收同樣波長的這些譜線。這是歷*用原子吸收光譜進(jìn)行定性分析的*例證。
很長一段時(shí)間，原子吸收主要局限于天體物理方面的研究，在分析化學(xué)中的應(yīng)用未能引起重視，其主要原因是未找到可產(chǎn)生銳線光譜的光源。
1916年帕邢（Paschen）首先研制成功空心陰極燈，可作為原子吸收分析用光源。
直至20世紀(jì)30年代，由于汞的廣泛應(yīng)用，對(duì)大氣中微量汞的測定曾利用原子吸收光譜原理設(shè)計(jì)了測汞儀，這是原子吸收在分析中的zui早應(yīng)用。
1954年澳大利亞墨爾本物理研究所在展覽會(huì)上展出世界上*臺(tái)原子吸收分光光度計(jì)。空心陰極燈的使用，使原子吸收分光光度計(jì)商品儀器得到了發(fā)展。
1955年澳大利亞聯(lián)邦科學(xué)與工業(yè)研究所物理學(xué)家沃爾什（A.Walsh）首先提出原子吸收光譜作為一般分析方法用于分析各元素的可能性，并探討了原子濃度與吸光度值之間的關(guān)系及實(shí)驗(yàn)中的有關(guān)問題。然后在光譜化學(xué)學(xué)報(bào)上發(fā)表了論文《原子吸收光譜在分析上的應(yīng)用》。從此一些國家的科學(xué)家競相開展這方面的研究，并取得了巨大的進(jìn)展。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，原子能、半導(dǎo)體、無線電電子學(xué)、宇宙航行等科學(xué)對(duì)材料純度要求越來越高，如原子能材料鈾、釷、鈹、鋯等，要求雜質(zhì)小于10-7~10-8g，半導(dǎo)體材料鍺、硒中雜質(zhì)要求低于 10-10~ 10-11g，熱核反應(yīng)結(jié)構(gòu)材料中雜質(zhì)需低于10-12g，上述材料的純度要求用傳統(tǒng)分析手段是達(dá)不到的，而原子吸收分析能較好地滿足超純分析的要求。
1959年前蘇聯(lián)學(xué)者里沃夫（В.B.ПьBOB）設(shè)計(jì)出石墨爐原子化器，1960年提出了電熱原子化法（即非火焰原子吸收法），使原子吸收分析的靈敏度有了極大提高。
1965年威尼斯（J.B.Willis）將氧化亞氮-乙炔火焰用于原子吸收法中，使可測定元素?cái)?shù)目增至70個(gè)。
1967年馬斯曼（H.Massmann）對(duì)里沃夫石墨爐進(jìn)行改進(jìn)，設(shè)計(jì)出電熱石墨爐原子化器（即高溫石墨爐）。
20世紀(jì)60年代后期發(fā)展了“間接原子吸收分光光度法”，使過去難以用直接法測定的元素和有機(jī)化合物的測定有了可能。
1971年美國瓦里安（Varian）公司生產(chǎn)出世界上*臺(tái)縱向加熱石墨爐，并首先發(fā)展Zeemen背景校正技術(shù)。
1981年原子吸收分析儀實(shí)現(xiàn)操作自動(dòng)化。
1984年*臺(tái)連續(xù)氫化物發(fā)生器問世。
1990年推出世界上的Mark V1焰燃燒頭。
1995年在線火焰自動(dòng)進(jìn)樣器（SIPS8）研制成功并投入使用。
1998年*臺(tái)快速分析火焰原子吸收220FS誕生。
2002年世界上*套火焰和石墨爐同時(shí)分析的原子吸收光譜儀生產(chǎn)并投放市場。
現(xiàn)在，原子吸收分光光度計(jì)采用的電子技術(shù)，使儀器顯示數(shù)字化、進(jìn)樣自動(dòng)化，計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)使整個(gè)分析實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
我國在1963年開始對(duì)原子吸收分光光度法有一般性介紹。1965年復(fù)旦大學(xué)電光源實(shí)驗(yàn)室和冶金工業(yè)部有色金屬研究所分別研制成功空心陰極燈光源。1970年北京科學(xué)儀器廠試制成WFD-Y1型單光束火焰原子吸收分光光度計(jì)。現(xiàn)在我國已有多家企業(yè)生產(chǎn)多種型號(hào)、性能較先進(jìn)的原子吸收分光光度計(jì)。
原子吸收分光光度法應(yīng)用也有一定的局限性，即每種待測元素都要有一個(gè)能發(fā)射特定波長譜線的光源。原子吸收分析中，首先要使待測元素呈原子狀態(tài)，而原子化往往是將溶液噴霧到火焰中去實(shí)現(xiàn)，這就存在理化方面的干擾，使對(duì)難溶元素的測定靈敏度還不夠理想，因此實(shí)際效果理想的元素僅30余個(gè)；由于儀器使用中，需用乙炔、氫氣、氬氣、氧化亞氮（俗稱笑氣）等，操作中必須注意安全。
